华东15选5坐标连线走势图:TL1200-1200-1200三溫區PECVD

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TL1200-1200-1200三溫區PECVD

TL1200-1200-1200 管式爐

 

 

 

型號

TL1200-1200- 1200-PECVD-I

TL1200- 1200-1200-PECVD-II

 TL1200-1200-1200-PECVD-III

功率

5.4KW

5.4KW

5.4KW

爐管尺寸 

 

 石英管:60/80/100*1500mm(管徑可?。?/p>

兩邊各放置一個爐塞,爐塞可以阻擋爐管中心的熱輻射,必須在加熱前放置在爐膛的正確位置

 

外形尺寸

(LXDXH)

1200X410X610

1200X410X610

1200X460X660

電源電壓

220V

相數

單相

加熱元件

              進口瑞典Canthal  A1 電阻絲    點擊進入資料下載

控制方式

 

采用宇電程序控溫儀表(標配)

1、30段程序控溫智能PID調節。

2、具有過溫?;?斷偶?;す祿蚨嚇際鋇緶尤鵲緶紛遠卸?,(當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時,

主電路上的交流繼電器會自動斷開,主電路斷開,面板上ON燈熄滅,OFF燈亮,有限的?;さ緶?。

3、帶有485 通訊接口(選購軟件時標配)

4、具有斷電?;すδ?,即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。

5、儀表具有溫度自整定的功能

(更換進口儀表,需要另外付費,選購)

                                                      

FP93控溫儀表                          歐陸儀表                   觸摸屏儀表

(日本島電)

控溫模式

智能PID

斷偶?;ず拖允?/p>

過溫?;?/p>

 過流?;?/p>

控制精度

+/- 1 ℃

觸發器

移相觸發

電器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德國西門康

最高溫度

1200 ℃

額定溫度

1100 ℃ 

升溫速率

≤20 ℃/ Min (可根據要求修改)

推薦升溫速率

≤10℃/ Min

熱電偶型號

K  型

加熱段長度

205mm+205mm+205mm

溫度校準(選配)

定期對管式爐進行溫度校準,可保持爐溫的準確性和均勻性。您可以在本公司選購一套簡單的校準工具,輔助您完成這項工作,完整的校準套件包括標準熱電偶,溫度校準儀,補償導線

            

電器認證

四周表面溫度

≤45℃

閥門和法蘭

 

射頻電源

(等離子體發生器)

 

功率輸出范圍

  0-500W

 

 

 

 

 

最大反射功率 

 200W

工作頻率

 射頻:13.56MHZ±0.005%

功率穩定度

 +/-0.1%

諧波分量

≤-50dbc

射頻區域寬度

0-600mm 可調

匹配方式 

 自動

 冷卻方式

 分冷

噪聲

 <50dB

射頻接口

 50Ω   N-type

輸入電源 

 208-240V  50/60HZ

 

GX供氣系統主要參數

 

質量流量計

 

 

量程和氣體

  5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  (你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型)

耐壓

3MP

流量控制精度

±1.0%F.S

最大工作(使用)壓力

0.3MPa

線性

±0.5%F.S.

重復精度

±0.2% F.S

路數

   1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意選擇幾路)

接頭類型

 雙卡套不銹鋼接頭

系統工作壓力范圍

0.1~0.5 MPa

工作溫度

 5-45℃

壓力真空表表

-0.1~0.15MPa    0.01MPa/格

靜態混氣室

 Dia50 X 400MM

接口

 Dia6  / 1/4”

VS-0.1抽氣系統

方案一或方案二任選一個

 

 

 

電源

  220V

尺寸

 650X650X600    /    650X650X300

波紋管

 KF25X1000mm

用該系統抽爐管真空度可達

 10 -1Pa

真空擋板閥

 KF25

 

VRD-8真空泵

方案一

型號

VRD-8

  極限分壓強

5X10-2 Pa

   進排氣接口

 KF25

    電機轉速

1440RPM

抽氣速率

 2.2L/S

    電機功率

0.4KW

Preiffer ACP15

無油多級羅茨泵

方案二

型號 ACP15
電源  AC100-240   50/60HZ
功率 450W
重量 25KG
最高氦氣漏率 5 · 10-8 Pa m3/s 
抽氣速率 14  m3/h
極限壓強 0.02Torr
進、排氣接口 KF25

電阻真空計

(方案一)

   型號

ZDR-1

   功率

25W

  真空度測量范圍

0.1-10 Pa

   電阻硅

ZJ-52T

    

 

 

 

 

瑞典(INFICON)

  皮拉尼陶瓷電容真空計

  (方案二)

 

 

 

 

   

 

     型號

PCG554

  輸入電壓

 24V  1A DC(配有220V變壓器)

真空計接口

KF16

數字顯示

數字顯示(屏幕尺寸為20x14mm),其數據顯示單位為torr

產品尺寸

46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

重量

5 lbs

檢測氣體

可檢測各種氣體,包括混合氣體,測量精確、重復性好。

是否防腐

防腐

響應時間

≤30ms

測量范圍

3.8x10-5 -1125 Torr.

分子泵機組(選購)

(方案一或方案二任選一個)

機組輸入電壓

380V /220V

波紋管

KF40X1000

真空擋板閥

KF40

機箱尺寸

600X600X600

分子泵

(方案一)

 

 分子泵型號

  FJ620

  輸入電壓

 380V

  分子泵進氣口法蘭

  DN160

分子泵抽氣速率L/S(對空氣)

  600

分子泵極限壓強(Pa)

6×10-7

冷卻方式

 水冷

冷卻水壓(MPa)

 0.1-0.2

冷卻水溫度

<25℃

環境溫度

0~40℃

建議啟東壓強

<100pa

分子泵前級真空泵TRP-24

(FJ620分子泵必須要配此前級泵)

(方案二)

  

功率

0.75KW

電壓

380V

轉速

1450rpm

進氣口徑

 KF25/KF40

前機泵抽氣速率(L/S)

6

極限壓強

4X10 -2Pa

 

 

德國Pfeiffer真空泵

(方案二)

 

電壓

220V

功率

110W

抽氣接口

KF40

重量

150KG

前機泵抽速

0.9m 3/ h

抽氣速率(N2)

33L/S

 

復合真空計

復合真空計型號

ZDF

 電源

 220V   55W

控制精度

± 1%

 真空計測量范圍

10-5 -10 Pa

質保期

一年保修,終身技術支持

特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不在保修期內。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。

注意事項

1.爐管內氣壓不可高于0.02MPa

2.由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa

3.當使用的爐管為剛玉管時,爐體溫度高于1500℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當

4.進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的氣流對熱爐管的沖擊

5.對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開排氣閥,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)

6.不要在氧化鋁管中使用石墨坩堝

TL1200-1200-1200 PECVD系統,由三溫區真空管式爐、石英真空室、射頻電源、GX供氣系統、抽氣系統、真空測量系統組成。

主要特點:

      1、通過射頻電源把石英真空室內的氣體變為離子態。

      2、PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積所需的溫度更低。

      3、可以通過射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應力大小。

      4、PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩定性高。

      5、廣泛應用于:各種薄膜的生長,如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) 等。

 

       這款TL1200-1200-1200 PECVD系統以瑞典Kanthal電阻絲為加熱元件,采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用日本進口氧化鋁多晶纖維材料,爐管兩端能不銹鋼法蘭密封,不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表,抽真空時真空度能夠達到10-3 Pa,具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能、價格優惠等優點。  

1、瑞典Kanthal A1 電阻絲

                   

           

        Kanthal A1 原絲                 國產電阻絲爐膛            VS            進口電阻絲爐膛

 

(1)、表面溫度高可達1420

(2)、表面為不銹鋼色(非常亮、客戶識別時要注意)、不會生銹,使用時間再長都不會掉渣。

(3)、Kanthal電阻絲資料下載

(4)、Kanthal電阻絲網站:www.kanthal.com

(5)、電阻均衡、溫場均衡性好

 

                                                                                      

大部分廠家使用的首鋼生產的Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 電阻絲     Kanthal  A1 電阻絲 電阻均勻 、 發熱量均衡

有時候電阻不均衡、一部分發熱量大一部分發熱量小                溫場效果好                 

 

2、安裝有空氣開關和漏電?;て鰨?/span>

當電路過流或漏電時,空開會自動斷開。

3、可以與電腦連接

該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數,并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數據保存起來,隨時可以調出

 

 

4、爐膛

 

1、真空吸濾成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。

2、采用日本技術成型。

3、爐膛里電阻絲的間距和節距全部按日本最優的熱工技術布置、經過熱工軟件模擬溫場

4、采用4周加熱,溫場更加均衡

 

5、可選UL認證電氣板 (全部通過UL認證的進口電器)

 

 

6、認證

     

 

7、法蘭

                               

鉸鏈式法蘭(選購)           可以接電阻真空計和KF25波紋管的法蘭(選購)            水冷法蘭(選購)

                  

 

 

 

TL1200-1200-1200三溫區PECVD系統標配

 

描敘

數量

圖片

TL1200-1200-1200管式爐

1 套

 

石英管

1根

不銹鋼法蘭

1 套

        

不銹鋼爐鉤

1 個

氧化鋁爐塞

1對

高溫手套

1 雙

氧化鋁坩堝

1個

K型熱電偶   3個

485轉換接口和軟件(選配)

1 套

           說明書

1本

 

       法蘭支撐架

1 份

 

供氣系統 

 1臺
           VS-0.1抽氣系統 1臺                                      
射頻電源 1臺                                

                                        

卡套 4個                                       
波紋管 1支                                    
真空擋板閥 1個                           
鋼瓶接頭(N代表路數) N個                  
閥門接頭 2                              
聚四氟乙烯管(N代表路數) NX5                         


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